SAW器件是近代声学中的表面波理论、压电学研究成果和微电子技术有机结合的产物。所谓SAW 就是在压电固体材料表面产生和传播的弹性波,该波振幅随深人固体材料深度的增加而迅速减小。

     与声表面波对应的是体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW),体声波是在无限大弹性固体内部传播的声波。在有界媒质中传播的纵波和横波通常也称为体波。在各向同性固体中,有两种以不同速度、相互独立的传播模式,即纵波和横波。在各向异性固体中,一般有3种以不同速度、相互独立的传播模式,即准纵波、快准横波和慢准横波。

      SAW与BAW相比,有两个显著的特点:第一,能量密度高,其中约90%的能量集中于一个波长的表面薄层中;第二,传播速度慢,大约是纵波速度的45%,是横波速度的90%,传播损耗很小。根据这两个特性,人们研制出具有不同功能的SAW器件.

     声表面波器件由具有压电特性的基底材料(压电基片)和其上的两个声/电换能器-一叉指换手的手指交叉状的金属图案,它的作用是实现声/电能量转换。如果在IDT电极的两端,加入高频动,IDT可以将这种机械振动转换成电信号,从两个电极输出。IDT借助于半导体平面工艺制作。声表面波器件的工作原理是:压电基片左端的叉指换能器(输入换能器)通过逆压电效应将输入的电信号转变成机械振动。这种机械振动同时激发出与外加电信号频率相同的表面声波,这能器(Interdigital Transducer,IDT)组成。所谓叉指换能器,就是在压电基片表面上形状像两只电信号,IDT 会使压电材料表面产生机械振动,这叫做逆压电效应。如果基底材料上出现机械振 

      声表面波器件的工作原理是:压电基片左端的叉指换能器(输入换能器)通过逆压电效应将声信号进行各种处理,并利用声/电换能器的特性来完成的。种表面声波会沿着基底材料表面传播。此声信号沿基片表面传播,最终由基片右边的换能器(输出换能器)将声信号转变成电信号输出。整个声表面波器件的功能是通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理，并且用声/电换能器的特性来完成。

     叉指换能器的金属条电极是铝膜或者金膜,通常用蒸发镀膜设备镀膜,并采用光刻方法制出所需图形。压电基底材料有铌酸锂、石英、锗酸铋和钽酸锂等压电单晶体。

     迄今已经研制成功了许多声表面波器件,如表面波带通滤波器、延迟线 、匹配滤波器、温度传感器、振荡器和表面波卷积器等。由于声表面波器件具有小型、可靠性高、一致性好、多功能以及设计灵活等优点,所以它在雷达、通信、空中交通管制、电子战f微波中继、声纳以及电视 中已经或正在得到广泛的应用。声表面器件的不足之处:第一,由于受工艺的限制,声表面波器件的工作频率被局限在 2~3GHz以下;第二,由于它采用单晶材料,制作工艺要求精度高、条件苛刻,因此成本较高、价格较贵。